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超细碳化硅杂质含量

碳化硅(SIC)单晶生长用高纯碳化硅(SIC)粉体的详解

研究结果表明通过控制碳粉和硅粉中的杂质含量可以将 B、Fe、Al、Cu、P 等杂质控制在 1 × 10 - 6以下,合成的高纯 SiC 粉体纯度高达 99. 999% 。在众多杂质中,N 元素的含量一直居高不下,只有较少的课题组对制备 N 含量低的高纯 SiC 粉体进行了研 现阶段日本东芝陶瓷公通过日本商社对中国生产SiC粉进行了实验评价,碳化硅的纯度和粒度尚未达到实用化水平。制备高值化的碳化硅陶瓷,对碳化硅微纳米粉体具有不同技术指标要求,制备纯度大于97%,平均粒径D50=1微米以下。半导体制造用高纯超细碳化硅粉体制备及其陶瓷高值化研究

超细碳化硅微粉的制备及反应烧结碳化硅性能的研究 百度学术

碳化硅(SiC)陶瓷具有高熔点,高硬度,耐磨损和强度高等优点,是重要的高温结构材料之一反应烧结碳化硅(RBSC)材料可以作为密封件,热交换器件和喷嘴等材料但是由于普通RBSC陶瓷的原料杂质含量高,粒径分布宽及成型工艺和烧结工艺的多样化等,导致RBSC材料目前,在改进的自蔓延合成法中,研究人员通过控制起始Si源和C源中杂质含量以及对合成的SiC粉体进行提纯处理,可以将大部分杂质如B、Fe、Al、Cu、P等控制在1×106以下。每公斤2000~12000 元?这种碳化硅堪称“万金之躯”!要闻

碳化硅晶舟(SICBOAT)如何做到9999%的高纯度?百度文库

烧结碳化硅陶瓷制品,采用高纯超细碳化硅微粉,经2450℃高温烧结而成,碳化硅含量在991%以上,制品密度 ≥310g/cm3,不含金属硅等金属杂质。 碳化硅陶瓷晶舟,碳化硅研磨盘,碳化硅托盘碳化硅晶舟,SIC BOAT、陶瓷晶舟结晶碳化硅,又称再结晶碳化硅,简称RSiC,是指以高纯超细碳化硅为原料,在2400℃高温条件下发生蒸发、凝聚、再结晶、颗粒共生等反应形成的烧结体。 重结晶碳化硅硬度仅次于金刚石,具有高温强度高、抗氧化性能好、耐腐蚀性能强、抗热震性能好、机械性能优越、烧结不收缩等优点,在颗粒接触处发生颗粒共生形成的烧结体。 其基本 重结晶碳化硅(再結晶炭化ケイ素)RSiC

高纯碳化硅粉体合成方法研究现状综述

1、各种方法的优、缺点 采用固相法合成的碳化硅粉体较为经济,原料来源广泛且价格较低,易于工业化生产,然而用此种方法合成的碳化硅粉体杂质含量高,质量较低;高温自蔓延方法是利用高温给予反应物初始热开始发生化学反应,然后利用自身的化学反应第三代半导体材料碳化硅 (SiC)研究进展 失效分析设备 芯片失效分析,整套芯片测试方案,欢迎交流。 [摘 要] 第三代半导体材料碳化硅 (SiC)因其禁带宽度大、 热稳定性强、 热导率高、 抗辐射能力强等优点, 以耐高温、 高压、 高频著称, 在功率半导体领 第三代半导体材料碳化硅(SiC)研究进展

高纯碳化硅粉体合成方法及合成工艺展望化学

采用固相法合成的碳化硅粉体较为经济,原料来源广泛且价格较低,易于工业化生产,然而用此种方法合成的碳化硅粉体杂质含量高,质量较低;高温自蔓延方法是利用高温给予反应物初始热开始发生化学反应,然后利用自身的化学反应热,使得未发生反应的物质继续完成化学反应。 然而由于Si和C的化学反应放出的热量较小,必须加入其他的添 摘要: 综述了高纯SiC微粉主要制备工艺,介绍了近些年SiC微粉除杂提纯工艺新进展,提出未来高纯SiC微粉制备工艺应不断更新升级,产业化生产技术和装备也需要不断完善。 关键词: SiC, 制备方法, 除杂, 研究进展高纯SiC微粉制备进展

碳化硅(SIC)单晶生长用高纯碳化硅(SIC)粉体的详解

研究结果表明通过控制碳粉和硅粉中的杂质含量可以将 B、Fe、Al、Cu、P 等杂质控制在 1 × 10 - 6以下,合成的高纯 SiC 粉体纯度高达 99. 999% 。在众多杂质中,N 元素的含量一直居高不下,只有较少的课题组对制备 N 含量低的高纯 SiC 粉体进行了研 现阶段日本东芝陶瓷公通过日本商社对中国生产SiC粉进行了实验评价,碳化硅的纯度和粒度尚未达到实用化水平。制备高值化的碳化硅陶瓷,对碳化硅微纳米粉体具有不同技术指标要求,制备纯度大于97%,平均粒径D50=1微米以下。半导体制造用高纯超细碳化硅粉体制备及其陶瓷高值化研究

超细碳化硅微粉的制备及反应烧结碳化硅性能的研究 百度学术

碳化硅(SiC)陶瓷具有高熔点,高硬度,耐磨损和强度高等优点,是重要的高温结构材料之一反应烧结碳化硅(RBSC)材料可以作为密封件,热交换器件和喷嘴等材料但是由于普通RBSC陶瓷的原料杂质含量高,粒径分布宽及成型工艺和烧结工艺的多样化等,导致RBSC材料目前,在改进的自蔓延合成法中,研究人员通过控制起始Si源和C源中杂质含量以及对合成的SiC粉体进行提纯处理,可以将大部分杂质如B、Fe、Al、Cu、P等控制在1×106以下。每公斤2000~12000 元?这种碳化硅堪称“万金之躯”!要闻

碳化硅晶舟(SICBOAT)如何做到9999%的高纯度?百度文库

烧结碳化硅陶瓷制品,采用高纯超细碳化硅微粉,经2450℃高温烧结而成,碳化硅含量在991%以上,制品密度 ≥310g/cm3,不含金属硅等金属杂质。 碳化硅陶瓷晶舟,碳化硅研磨盘,碳化硅托盘碳化硅晶舟,SIC BOAT、陶瓷晶舟结晶碳化硅,又称再结晶碳化硅,简称RSiC,是指以高纯超细碳化硅为原料,在2400℃高温条件下发生蒸发、凝聚、再结晶、颗粒共生等反应形成的烧结体。 重结晶碳化硅硬度仅次于金刚石,具有高温强度高、抗氧化性能好、耐腐蚀性能强、抗热震性能好、机械性能优越、烧结不收缩等优点,在颗粒接触处发生颗粒共生形成的烧结体。 其基本 重结晶碳化硅(再結晶炭化ケイ素)RSiC

高纯碳化硅粉体合成方法研究现状综述

1、各种方法的优、缺点 采用固相法合成的碳化硅粉体较为经济,原料来源广泛且价格较低,易于工业化生产,然而用此种方法合成的碳化硅粉体杂质含量高,质量较低;高温自蔓延方法是利用高温给予反应物初始热开始发生化学反应,然后利用自身的化学反应第三代半导体材料碳化硅 (SiC)研究进展 失效分析设备 芯片失效分析,整套芯片测试方案,欢迎交流。 [摘 要] 第三代半导体材料碳化硅 (SiC)因其禁带宽度大、 热稳定性强、 热导率高、 抗辐射能力强等优点, 以耐高温、 高压、 高频著称, 在功率半导体领 第三代半导体材料碳化硅(SiC)研究进展

高纯碳化硅粉体合成方法及合成工艺展望化学

采用固相法合成的碳化硅粉体较为经济,原料来源广泛且价格较低,易于工业化生产,然而用此种方法合成的碳化硅粉体杂质含量高,质量较低;高温自蔓延方法是利用高温给予反应物初始热开始发生化学反应,然后利用自身的化学反应热,使得未发生反应的物质继续完成化学反应。 然而由于Si和C的化学反应放出的热量较小,必须加入其他的添 摘要: 综述了高纯SiC微粉主要制备工艺,介绍了近些年SiC微粉除杂提纯工艺新进展,提出未来高纯SiC微粉制备工艺应不断更新升级,产业化生产技术和装备也需要不断完善。 关键词: SiC, 制备方法, 除杂, 研究进展高纯SiC微粉制备进展

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研究结果表明通过控制碳粉和硅粉中的杂质含量可以将 B、Fe、Al、Cu、P 等杂质控制在 1 × 10 - 6以下,合成的高纯 SiC 粉体纯度高达 99. 999% 。在众多杂质中,N 元素的含量一直居高不下,只有较少的课题组对制备 N 含量低的高纯 SiC 粉体进行了研 现阶段日本东芝陶瓷公通过日本商社对中国生产SiC粉进行了实验评价,碳化硅的纯度和粒度尚未达到实用化水平。制备高值化的碳化硅陶瓷,对碳化硅微纳米粉体具有不同技术指标要求,制备纯度大于97%,平均粒径D50=1微米以下。半导体制造用高纯超细碳化硅粉体制备及其陶瓷高值化研究

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碳化硅(SiC)陶瓷具有高熔点,高硬度,耐磨损和强度高等优点,是重要的高温结构材料之一反应烧结碳化硅(RBSC)材料可以作为密封件,热交换器件和喷嘴等材料但是由于普通RBSC陶瓷的原料杂质含量高,粒径分布宽及成型工艺和烧结工艺的多样化等,导致RBSC材料目前,在改进的自蔓延合成法中,研究人员通过控制起始Si源和C源中杂质含量以及对合成的SiC粉体进行提纯处理,可以将大部分杂质如B、Fe、Al、Cu、P等控制在1×106以下。每公斤2000~12000 元?这种碳化硅堪称“万金之躯”!要闻

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烧结碳化硅陶瓷制品,采用高纯超细碳化硅微粉,经2450℃高温烧结而成,碳化硅含量在991%以上,制品密度 ≥310g/cm3,不含金属硅等金属杂质。 碳化硅陶瓷晶舟,碳化硅研磨盘,碳化硅托盘碳化硅晶舟,SIC BOAT、陶瓷晶舟结晶碳化硅,又称再结晶碳化硅,简称RSiC,是指以高纯超细碳化硅为原料,在2400℃高温条件下发生蒸发、凝聚、再结晶、颗粒共生等反应形成的烧结体。 重结晶碳化硅硬度仅次于金刚石,具有高温强度高、抗氧化性能好、耐腐蚀性能强、抗热震性能好、机械性能优越、烧结不收缩等优点,在颗粒接触处发生颗粒共生形成的烧结体。 其基本 重结晶碳化硅(再結晶炭化ケイ素)RSiC

高纯碳化硅粉体合成方法研究现状综述

1、各种方法的优、缺点 采用固相法合成的碳化硅粉体较为经济,原料来源广泛且价格较低,易于工业化生产,然而用此种方法合成的碳化硅粉体杂质含量高,质量较低;高温自蔓延方法是利用高温给予反应物初始热开始发生化学反应,然后利用自身的化学反应第三代半导体材料碳化硅 (SiC)研究进展 失效分析设备 芯片失效分析,整套芯片测试方案,欢迎交流。 [摘 要] 第三代半导体材料碳化硅 (SiC)因其禁带宽度大、 热稳定性强、 热导率高、 抗辐射能力强等优点, 以耐高温、 高压、 高频著称, 在功率半导体领 第三代半导体材料碳化硅(SiC)研究进展

高纯碳化硅粉体合成方法及合成工艺展望化学

采用固相法合成的碳化硅粉体较为经济,原料来源广泛且价格较低,易于工业化生产,然而用此种方法合成的碳化硅粉体杂质含量高,质量较低;高温自蔓延方法是利用高温给予反应物初始热开始发生化学反应,然后利用自身的化学反应热,使得未发生反应的物质继续完成化学反应。 然而由于Si和C的化学反应放出的热量较小,必须加入其他的添 摘要: 综述了高纯SiC微粉主要制备工艺,介绍了近些年SiC微粉除杂提纯工艺新进展,提出未来高纯SiC微粉制备工艺应不断更新升级,产业化生产技术和装备也需要不断完善。 关键词: SiC, 制备方法, 除杂, 研究进展高纯SiC微粉制备进展

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